【深圳半导体废气处理设备】半导体行业废气处理设计方案及废气处理设备
2020年06月30日 02:01:50 来源:行业动态
半导体行业废气处理设计方案和废气处理设备
随着我国工业技术的迅速发展,其中半导体行业的◣需求也迅速增加,同时也有VOC废气引起的大气污染。 国家近年来致力于环境管理,半导体也成为重点管理对象之一。 由于半导体行▽业对生产现场的清洁度要求极高,废气的排放风量大,排放浓度小。 今天,废气处理设备制造商将简要介绍半导体行业的废气处理设计方案。
半导体行业废气处理设计方案和废气处理设备
主要来源于芯片和基板的清洗、均匀胶、脱胶、蚀刻、显影中基板的清洗。 主要成分有机废气和酸碱废气两种。 有机类有:非甲烷总烃、氮氧化物、二氧化硫等酸碱类中有:氨、硫酸雾、氟化物、氯化物、氯气等。
半导体行业废气处↑理解决方案:
(1)预处理阶段:通常用喷淋塔预处理废气,以去除易溶于粉尘和水的有害气体。
(2)主要处理阶段:为此阶段,较常见的有效方法有:UV光解、生物过滤分解、焚烧和催ζ 化燃烧等。
这些方式各有优劣,根据许多电子厂的废气情况,这里主要推荐并介绍活性炭吸附设备催化燃★烧设备去除VOCs气体的方案。
刚刚说了很多半导体废气处理的内容,现在重新知道半导体废气处理吗?关于半导体废〓气处理有什么不明白的地方请告诉我
标签:废气处理设备
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