半导体行业废气处理设计方案和废气处理设备

随着我国工业技术的迅速发展，其中半导体行业的◣需求也迅速增加，同时也有VOC废气引起的大气污染。 国家近年来致力于环境管理，半导体也成为重点管理对象之一。 由于半导体行▽业对生产现场的清洁度要求极高，废气的排放风量大，排放浓度小。 今天，废气处理设备制造商将简要介绍半导体行业的废气处理设计方案。

半导体行业废气处理设计方案和废气处理设备

主要来源于芯片和基板的清洗、均匀胶、脱胶、蚀刻、显影中基板的清洗。 主要成分有机废气和酸碱废气两种。 有机类有：非甲烷总烃、氮氧化物、二氧化硫等酸碱类中有：氨、硫酸雾、氟化物、氯化物、氯气等。

半导体行业废气处↑理解决方案：

(1)预处理阶段：通常用喷淋塔预处理废气，以去除易溶于粉尘和水的有害气体。

(2)主要处理阶段：为此阶段，较常见的有效方法有：UV光解、生物过滤分解、焚烧和催ζ　化燃烧等。

这些方式各有优劣，根据许多电子厂的废气情况，这里主要推荐并介绍活性炭吸附设备催化燃★烧设备去除VOCs气体的方案。

刚刚说了很多半导体废气处理的内容，现在重新知道半导体废气处理吗？关于半导体废〓气处理有什么不明白的地方请告诉我